不同的是:
扫描电镜收集的是二次电子也就是电子束反射回来的信息,透射电镜收集的是电子束透过的信息。
透射电镜的分辨率要比扫描电镜大,同时透射电镜还可以检测物质的相结构已经晶型(多晶,单晶),而扫描电镜不可以
透射电镜使用的信号是forwardscatteringelectrons,而扫描电镜使用的是backwardscatteringelectrons。
前者分辨率较后者高,如2010能够达到2.3nm左右,可得到高分辨率图像,观察位错孪晶等,而后者一般用于观察样品表面形貌,由于扫描电镜景深较大,所以图像立体感强。
此外,投射电镜很大一部分时间都花在样品的制备上了,做到几十个微米薄;而相比较扫描电镜样品制备较简单。